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?半導(dǎo)體超純水設(shè)備工藝流程及原理
半導(dǎo)體超純水設(shè)備，也叫半導(dǎo)體超純水機(jī)，是指應(yīng)用離子交換和電滲析器等水處理設(shè)備將原水（或回水）中的離子交換樹脂進(jìn)行脫鹽，使原水（或回水）的水質(zhì)達(dá)到10~5μm數(shù)量級的處理工藝。半導(dǎo)體超純水設(shè)備工藝采用預(yù)處理+反滲透+ EDI+消毒工藝，www.popusm.com/article/detail/420.html 2023-03-06