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多晶硅超純水設(shè)備如何選擇?
時(shí)間:2021-12-17 作者:
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多晶硅超純水設(shè)備主要用在多晶硅片清洗中,多晶硅片、半導(dǎo)體元器件生產(chǎn)中硅片須經(jīng)過(guò)嚴(yán)格清洗,微量污染也會(huì)導(dǎo)致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì),包括有機(jī)物和無(wú)機(jī)物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài),有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。有機(jī)污染包括光刻膠、有機(jī)溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來(lái)的油脂或纖維。無(wú)機(jī)污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等,嚴(yán)重影響少數(shù)載流子壽命和表面電導(dǎo)堿金屬如鈉等,引起嚴(yán)重漏電。顆粒污染包括硅渣、塵埃、細(xì)菌、微生物、有機(jī)膠體纖維等,會(huì)導(dǎo)致各種產(chǎn)品缺陷。



很多公司只是一味地想通過(guò)去除硼、碳、氧等關(guān)鍵性雜質(zhì)元素來(lái)提高多晶硅質(zhì)量,然而,事實(shí)上,多晶硅對(duì)不同雜質(zhì)的純度要求是不同的,例如,其中的金屬雜質(zhì)屬于深能級(jí)雜質(zhì),在硅中,這些雜質(zhì)對(duì)少子的俘獲截面往往比硼和磷大2~3個(gè)數(shù)量級(jí),極少量金屬雜質(zhì)所造成的Si中少數(shù)載流子有效壽命的降低將大大降低多晶硅的轉(zhuǎn)換效率。多晶硅的生產(chǎn)工序復(fù)雜,在多晶硅生產(chǎn)中,高純水主要是用來(lái)清洗產(chǎn)的,幾乎每道工序都要使用高純水,樣產(chǎn)品與水直接接觸,使得加工過(guò)程中產(chǎn)生的微量污染得以洗凈,所以,高純水品質(zhì)的好壞將對(duì)多晶硅質(zhì)量起著重要影響。在此生產(chǎn)過(guò)程中,如果高純水中含有微量雜質(zhì)就有可能使產(chǎn)品再次受到污染,使成品率下降,由此看來(lái),高品質(zhì)的純水對(duì)多晶硅的生產(chǎn)就顯得尤為重要。


那么多晶硅超純水設(shè)備如何選擇?多晶硅超純水設(shè)備根據(jù)項(xiàng)目的大小,產(chǎn)水量的多少來(lái)決定。通常來(lái)說(shuō),記住以下幾點(diǎn),就可以避免少走彎路。

第一,看公司的注冊(cè)時(shí)間。做為工程公司,經(jīng)驗(yàn)的積累是極為重要的,這個(gè)涉及到一個(gè)公司是否成熟、技術(shù)研發(fā)、人員配置是否齊全。一般來(lái)說(shuō),注冊(cè)時(shí)間越久的公司,經(jīng)驗(yàn)會(huì)越豐富,做事也會(huì)更可靠。

第二,看公司注冊(cè)資本。公司注冊(cè)資本決定了一個(gè)公司可以承擔(dān)的風(fēng)險(xiǎn)能力,對(duì)于多晶硅項(xiàng)目來(lái)說(shuō),一個(gè)項(xiàng)目的投資,少則幾千萬(wàn),動(dòng)輒上億元的投資,一旦遇到糾紛,可能會(huì)打水漂。公司的注冊(cè)資本越高,公司需承擔(dān)的法律能力就越大。

第三,看公司業(yè)績(jī)。水處理公司很多,市場(chǎng)也是魚(yú)龍混雜,核實(shí)業(yè)績(jī),可以避免有些公司魚(yú)目混珠。

多晶硅超純水設(shè)備

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