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在半導(dǎo)體超純水設(shè)備的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)中分為"五級(jí)標(biāo)準(zhǔn)"它們分別是（18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級(jí)標(biāo)準(zhǔn)）。從上面的角度來說，超純水一般沒有統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)，都是根據(jù)用戶的需求來規(guī)定的。目前水質(zhì)要求很高的還是半導(dǎo)體、芯片、光伏光電等行業(yè)。

半導(dǎo)體超純水系統(tǒng)在工業(yè)水處理系統(tǒng)中很常見，設(shè)備的組成由材料，精密系統(tǒng)，包括很多運(yùn)行設(shè)備，可以說，半導(dǎo)體超純水設(shè)備過程在眾多設(shè)備系統(tǒng)中是較為復(fù)雜的。

如今，半導(dǎo)體在中國(guó)作為高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，很多地方得到了國(guó)家的大力扶持，但想要半導(dǎo)體、芯片等質(zhì)量得到保證，就避免不了超純水設(shè)備的使用和發(fā)展。

半導(dǎo)體超純水的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)中主要依據(jù)有：

1.微電子工藝對(duì)水質(zhì)的要求；

2.制水工藝的水平；

3.檢測(cè)技術(shù)的現(xiàn)狀。